混合集成電路的基本工藝

為便于自動化生產和在電子設備中緊密組裝，混合集成電路的制造采用標準化的絕緣基片。常用的是矩形玻璃和陶瓷基片，可將一個或幾個功能電路制作在一塊基片上。制作過程是先在基片上制造膜式無源元件和互連線，形成無源網絡，然后安裝上半導體器件或半導體集成電路芯片。膜式無源網絡用光刻制版和成膜方法制造。在基片上按照一定的工藝順序，制造出具有各種不同形狀和寬度的導體、半導體和介質膜。把這些膜層相互組合，構成各種電子元件和互連線。在基片上制作好整個電路以后，焊上引出導線,需要時,再在電路上涂覆保護層，最后用外殼密封即成為一個混合集成電路。

應用發展

混合集成電路的應用以模擬電路、微波電路為主，也用于電壓較高、電流較大的專用電路中。例如便攜式電臺、機載電臺、電子計算機和微處理器中的數據轉換電路、數-模和模-數轉換器等。在微波領域中的應用尤為突出。