皮拉尼真空計的應(yīng)用

皮拉尼真空計用于需要真空達到控制的腔室、連接到石英管的流體回路以及需要表面清潔度的地方。具體來說，它常用于中真空區(qū)域的測量。

中真空區(qū)域是使用油回轉(zhuǎn)真空泵可以達到的真空狀態(tài)，例如測量碳氟化合物氣體的吸入量時。皮拉尼真空計常用于高真空至超高真空抽氣系統(tǒng)的粗抽生產(chǎn)線以及高真空泵的背壓生產(chǎn)線。

然而，顯示值根據(jù)氣體的類型和成分而變化，因此需要提前進行充分的校準來測量絕對壓力。皮拉尼真空計還用于在物理和化學(xué)實驗、真空蒸發(fā)、冷凍干燥、醫(yī)療設(shè)備、分析儀、激光應(yīng)用設(shè)備、真空排氣設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備的等離子蝕刻空間以及電子顯微鏡的真空包中創(chuàng)造真空條件